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  名称：探头及附件（）

详细：
1.标准单探头
是一种应用非常广泛的探头。
2.带挡板单探头
用于对某特定材料的镀膜质量要求较高的场合。通常两只轮流配合使用，当
镀膜进行到质量要求较高的关键材料层时，切换到另一只探头，该探头专门
对该材料层进行控制，从而保证该关键材料层的镀膜质量。
3.带挡板双探头
应用于大规模复杂的膜系制备，一个晶片难以完成全部的任务，一个晶片失
效后，由另一晶片接替完成镀膜任务，失效时被打断的镀膜层可继续完成镀膜。
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