石家庄威泰科技有限公司返回首页联系我们

联系我们

电话:86-0311-83055815
手机:13131125885
地址:河北省石家庄市谊联街9号

产品展示

  名称:TDM-200膜层监控仪(专业用于实时膜厚测量)


详细:
TDM-200膜层监控仪适用于高频溅射、直流溅射、电阻蒸发、离子束、电子束等镀膜应用场合,在线测量膜层的厚度,可用于批量生产,也可用于薄膜材料研究。本仪器具有高速高精度测量系统,可提高镀膜的质量和可重复性,具有精确稳定、易于操作、配置灵活的特点。还提供了监测和控制功能,您可通过液晶显示屏连续获取沉积速率、厚度和晶片频率;并可通过计算机记录数据并实时描绘厚度曲线和速率曲线。
▲ TDM-200型膜层控制仪采用全中文人机操作界面,方便您的编程和操作。
▲ 频率计算精度和显示分辨率达到0.1Hz,计算速率达到每秒四次,为您制备薄膜提供了有力支持。
▲提供了RS-232接口,您可对镀膜过程进行遥控。并可通过计算机实时描绘厚度曲线和速率曲线。
▲对于多层膜中的关键膜层,您可使用特定的挡板探头监测,大大提升产品成膜质量和精度。
▲可配合多源镀膜系统,并为您提供了256种材料参数供使用。
▲ 连续镀膜还设计了自动监控方式,简化您的操作。
▲ 19英寸标准机箱,备有适配电缆,易于安装至现有的装置中。
规格
测量
频率计算精度 ±0.1Hz(在6.0MHz频率时)
频率显示精度 0.1Hz
测量速率 4Hz
 
显示
厚度显示 000000Å~999999Å
速率显示 000.0~999.9Å/s
时间显示 00:00:00~23:59:59(时:分:秒)
层数 01~99层
图形显示 240x64LCD,低功耗LED背光
 
存储能力
层 99层
材料库 256种材料参数
 
膜层参数
层 01~99
厚度 000000~999999 Å
材料 分子式(最长10个字符)
密度 00.00~99.99g/cm3
工具因子 00.00~99.99
Z因子 00.00~99.99
探头 A、B、C、D
探头挡板 “无”或 “有”
系统参数
挡板延迟 00:00~99:99(分:秒)
镀膜方式 “单层”、“多层”
控制方式 “手动”、“自动”
启动延迟 00:00~99:99(分:秒)
 
输出控制能力
源挡板 4个
探头挡板 4个
 
监控能力
源 4个
探头数量 4个
通信
通讯接口 标配RS-232串行口
Windows软件 随机附带
 
其它
供电要求 220V(±5%),50Hz,
功率<30W
工作温度 0℃~50℃
仪器尺寸 112 x 480x360(高x宽x
深),可用于19’标准工业
机架
仪器重量 5.0Kg
 
网站首页 | 公司简介 | 新闻中心 | 产品展示 | 公司服务 | 公司公告 | 人才招聘 | 联系我们
地址:河北省石家庄市谊联街9号 EMAIL:sales@win-tek.cn 手机:13131125885
联系电话:86-0311-83055815 传真号码:0311-83055815
版权所有:石家庄威泰科技有限公司 技术支持:盛世网络
360网站安全检测平台