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常见问题

膜厚仪的工作原理?

时间:2015-9-2 17:02:04   来源:   作者:   点击:732次

答:应用石英晶体微天平的原理,利用了石英晶体的压电效应,将石英晶体电极表面质量变化转化为石英晶体振荡电路输出电信号的频率变化,测量晶片频率。当物质沉积到晶片上时,会引起频率改变,通过实时测量频率变化量,计算出质量或厚度变化量。

 
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