介绍了用于大口径低温泵的R65制冷机的结构设计，回热器的设计及材料的选择，以及制冷功率及可靠性测试的试验结果。
大口径低温泵广泛应用在半导体、平板显示、光学镀膜、卷绕镀膜、真空钎焊炉等，具有对各种气体抽速大，水蒸汽分压低的显著特点，是生产效率最高的高真空获得设备，在美国、日本、韩国已经普及应用。低温泵的”发动机”是制冷机，真空技术网认为结构简单的G-M 制冷机已经成为低温泵用制冷机的主流，其理论分析和设计计算方法不断完善。
优拓低温公司首期推出的400、500 口径低温泵配备自产R65 制冷机，经过20000h 的不间断运行，达到了设计指标。设计目标：
a、制冷功率77K/20K 温度下，1、2 级功率70W/7W；
b、平均无故障运行时间30,000h。
