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大口径低温泵之制冷机R65的研制

时间:2015-11-4 14:29:01   来源:   作者:   点击:395次

  介绍了用于大口径低温泵的R65制冷机的结构设计,回热器的设计及材料的选择,以及制冷功率及可靠性测试的试验结果。

  大口径低温泵广泛应用在半导体、平板显示、光学镀膜、卷绕镀膜、真空钎焊炉等,具有对各种气体抽速大,水蒸汽分压低的显著特点,是生产效率最高的高真空获得设备,在美国、日本、韩国已经普及应用。低温泵的”发动机”是制冷机,真空技术网认为结构简单的G-M 制冷机已经成为低温泵用制冷机的主流,其理论分析和设计计算方法不断完善。

  优拓低温公司首期推出的400、500 口径低温泵配备自产R65 制冷机,经过20000h 的不间断运行,达到了设计指标。设计目标:

  a、制冷功率77K/20K 温度下,1、2 级功率70W/7W;

  b、平均无故障运行时间30,000h。

 
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