石家庄威泰科技有限公司返回首页联系我们

联系我们

电话:86-0311-83055815
手机:13131125885
地址:河北省石家庄市谊联街9号

产品展示

  名称:TDM-300/TDM-200(Pro)多通道膜层监控仪(专业用于共沉积镀膜和大面积镀膜的实时监控)


详细:
TDM-300/TDM-200(Pro)多通道膜层监控仪适用于高频溅射、直流溅射、电阻蒸发、离子束、电子束等镀膜应用场合,可对共沉积镀膜进行多源同步监控,或对大面积镀膜进行多点监控。
仪器提供了完备的监测和控制功能, 具有高速高精度测量系统,保证镀膜的质量和重复性。通过液晶显示屏使您能连续获取沉积数据,包括沉积速率、厚度和晶片频率。更可通过计算机得到实时数据及动态和静态数据曲线,方便用户对工艺过程进行分析。
适用于多种镀膜应用
TDM-300/TDM-200(Pro)膜层监控仪可对最多六个沉积源同时进行监控。既可应用于对大面积镀膜进行多点监控,监控镀膜均匀性;也可用于监控共沉积镀膜,而且用户可以编辑含有若干共沉积层和单一材料层的膜系;还能作为多台顺序沉积监控仪使用。
多种监控方式
可以对连续镀膜以自动或手动两种方式进行监控。
实现多源监测
可同时或分别监测二、四或六个沉积源。用户可根据实际需要进行选型。
强大的系统接口
具有一组共二、四或六个输出接口,可分别控制二、四或六个源挡板。用户可根据实际需要
进行选型。
高度重复性
具有高速高精度测量系统,保证镀膜的质量和重复性。
大容量数据存储
提供了较高的数据存储能力,可存储99个膜层,并内置256种材料参数方便用户使用。
全中文人机界面
TDM-300/TDM-200(Pro)膜层监控仪采用全中文人机操作界面,易于使用。
安装方便
备有适配电缆,易于安装至现有的装置中,方便替换其它制造厂的产品。
规格
测量
频率计算精度 0.1Hz/0.03Hz(在6.0MHz频率时)
频率显示精度 0.1Hz
测量速率   10Hz
显示
厚度显示 000000Å~999999Å
速率显示 000.0~999.9Å/s
时间显示 00:00:00~23:59:59(时:分:秒)
层数   01~99层
图形显示 240x64LCD,低功耗LED背光(TDM-200 PRO)
     320x240LCD,低功耗LED背光(TDM-300)
存储能力
层   99层
材料库 已定义256种材料
膜层参数
层次  01~99
终厚  000000~999999Å
材料  分子式
密度  00.00~99.99g/cm3
工具因子 00.00~99.99
Z因子  00.00~99.99
探头  A、B(C、D、E、F可选)
同步沉积 “否”或 “是”
系统参数
镀膜方式 “单层”、“多层”
控制方式 “手动”、“自动”
启动延迟 00:00~99:99(分:秒)
多通道方式 “独立”或“联合”
输出控制能力
源挡板数量  2、4或6个可选
      (探头挡板可共用相应端口)
监控能力
源    2/4/6 (可选)
通信
通讯接口   标配RS-232串型口
其它
供电要求 220V(±5%),50Hz,
     功率<30W
工作温度 0℃~50℃
仪器尺寸 TDM-200 PRO:
     89 x 484x330(高x宽x深)
     TDM-300:
     133.5x484x330(高x宽x深)
     可用于19’标准工业机架。
仪器重量 5.0Kg/6.0Kg

网站首页 | 公司简介 | 新闻中心 | 产品展示 | 公司服务 | 公司公告 | 人才招聘 | 联系我们
地址:河北省石家庄市谊联街9号 EMAIL:sales@win-tek.cn 手机:13131125885
联系电话:86-0311-83055815 传真号码:0311-83055815
版权所有:石家庄威泰科技有限公司 技术支持:盛世网络
360网站安全检测平台